[15p-PB06-1~23] 3.11 ナノ領域光科学･近接場光学（旧3.12）

[15p-PB06-2] レーザアニール法を用いた表面プラズモンフィルタの試作

〇(B)熊谷 昌城¹、田邊 雅翔¹、久木 弘成¹、内海 淳志¹ (1.舞鶴高専)

キーワード：表面プラズモンフィルタ、レーザアニール法

我々は，ショットキー接合型フォトダイオードの受光感度の向上を目的として，表面プラズモンフィルタの開発を行っている．本研究では，ショットキー電極と表面プラズモンフィルタの一体化を目指して，局所的でかつ短時間で金の微粒子化が行えるレーザアニール法を用いて表面プラズモンフィルタを試作した．結果として，金の微粒子化が可能であり，表面プラズモンフィルタが作製可能であることがわかった．