The 70th JSAP Spring Meeting 2023

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Poster presentation

3 Optics and Photonics » 3.11 Nanoscale optical science and near-field optics (formerly 3.12)

[15p-PB06-1~23] 3.11 Nanoscale optical science and near-field optics (formerly 3.12)

Wed. Mar 15, 2023 4:00 PM - 6:00 PM PB06 (Poster)

4:00 PM - 6:00 PM

[15p-PB06-2] Fabrication of Surface Plasmon Filter using Laser Annealing

〇(B)Masaki Kumagai1, Masato Tanabe1, Hironari Kyuki1, Atsushi Utsumi1 (1.NIT., Maizuru)

Keywords:Surface Plasmon Filter, Laser Annealing

我々は,ショットキー接合型フォトダイオードの受光感度の向上を目的として,表面プラズモンフィルタの開発を行っている.本研究では,ショットキー電極と表面プラズモンフィルタの一体化を目指して,局所的でかつ短時間で金の微粒子化が行えるレーザアニール法を用いて表面プラズモンフィルタを試作した.結果として,金の微粒子化が可能であり,表面プラズモンフィルタが作製可能であることがわかった.