4:00 PM - 6:00 PM
[15p-PB06-2] Fabrication of Surface Plasmon Filter using Laser Annealing
Keywords:Surface Plasmon Filter, Laser Annealing
我々は,ショットキー接合型フォトダイオードの受光感度の向上を目的として,表面プラズモンフィルタの開発を行っている.本研究では,ショットキー電極と表面プラズモンフィルタの一体化を目指して,局所的でかつ短時間で金の微粒子化が行えるレーザアニール法を用いて表面プラズモンフィルタを試作した.結果として,金の微粒子化が可能であり,表面プラズモンフィルタが作製可能であることがわかった.