2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

3 光・フォトニクス » 3.11 ナノ領域光科学・近接場光学(旧3.12)

[15p-PB06-1~23] 3.11 ナノ領域光科学・近接場光学(旧3.12)

2023年3月15日(水) 16:00 〜 18:00 PB06 (ポスター)

16:00 〜 18:00

[15p-PB06-2] レーザアニール法を用いた表面プラズモンフィルタの試作

〇(B)熊谷 昌城1、田邊 雅翔1、久木 弘成1、内海 淳志1 (1.舞鶴高専)

キーワード:表面プラズモンフィルタ、レーザアニール法

我々は,ショットキー接合型フォトダイオードの受光感度の向上を目的として,表面プラズモンフィルタの開発を行っている.本研究では,ショットキー電極と表面プラズモンフィルタの一体化を目指して,局所的でかつ短時間で金の微粒子化が行えるレーザアニール法を用いて表面プラズモンフィルタを試作した.結果として,金の微粒子化が可能であり,表面プラズモンフィルタが作製可能であることがわかった.