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[15p-PB06-2] レーザアニール法を用いた表面プラズモンフィルタの試作
キーワード:表面プラズモンフィルタ、レーザアニール法
我々は,ショットキー接合型フォトダイオードの受光感度の向上を目的として,表面プラズモンフィルタの開発を行っている.本研究では,ショットキー電極と表面プラズモンフィルタの一体化を目指して,局所的でかつ短時間で金の微粒子化が行えるレーザアニール法を用いて表面プラズモンフィルタを試作した.結果として,金の微粒子化が可能であり,表面プラズモンフィルタが作製可能であることがわかった.