[16a-A402-1~6] 8.1 プラズマ生成・診断

[16a-A402-3] 反応性プラズマにおけるカーリングプローブのアンテナデザインによる反射スペクトルへの影響

〇(M1)加藤 翔太¹、中村 圭二¹、小川 大輔¹ (1.中部大工)

キーワード：カーリングプローブ、電子密度、シミュレーション