[16a-A402-1~6] 8.1 プラズマ生成・診断

[16a-A402-6] 二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂プラズマにおける電力変調方式がイオン組成に与える影響

〇加藤 閣人¹、赤塚 勇大¹、関 悠斗¹、久保井 宗一¹、鈴木 陽香^1,2、豊田 浩孝^1,2,3 (1.名古屋大学、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)

キーワード：プラズマ、イオン、時分解計測

Ar/C₄F₈/O₂プラズマにおける電力変調方式によってイオン組成がどのように変化しているのかを質量分析法を用いて時分解計測を行いました。電力変調はOn-Off制御とHigh-Low制御を行った結果、電力変調時に電子温度変化とそれに伴うイオン組成変化が引き起こされていることが示唆された。