The 70th JSAP Spring Meeting 2023

Presentation information

Oral presentation

6 Thin Films and Surfaces » 6.2 Carbon-based thin films

[16a-A408-1~10] 6.2 Carbon-based thin films

Thu. Mar 16, 2023 9:00 AM - 11:30 AM A408 (Building No. 6)

Shinya Ohmagari(AIST), Masafumi Inaba(Kyushu Univ.)

9:00 AM - 9:15 AM

[16a-A408-1] Evaluation of NV0 defects in single-crystal diamonds using Raman spectroscopy

Shouhei Yamazaki1, Ayato Yamagishi1, Daichi Hagiwara1, Takahiro Tsukamoto1, Hideo Isshiki1 (1.Univ. Electro-Comm.)

Keywords:diamond, Raman spectroscopy

ダイヤモンドはワイドバンドギャップ、高い絶縁破壊電圧、高い熱伝導率を持つことから、省エネルギー化に貢献可能な次世代のパワーデバイス半導体材料として注目されている。パワーデバイスとして実用化するためにはダイヤモンド結晶内の欠陥の抑制が必要である。これまで、Si基板上に作製したダイヤモンド単結晶の結晶性をラマン分光法によって評価してきた。本発表ではラマン分光法によるSi基板上ダイヤモンド単結晶中のNV0欠陥の評価について報告する。