[16a-B401-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [16a-B401-7] ヘルムホルツ共鳴を利用したInGaN量子井戸の光音響・発光同時計測のS/N改善

〇土佐 宏樹¹、森 恵人¹、山口 敦史¹ (1.金沢工大)

キーワード：InGaN量子井戸、光音響・発光同時計測、ヘルムホルツ共鳴

窒化物半導体の光物性を解明するために我々は、輻射再結合による発光と非輻射再結合による発熱を同時に計測することで内部量子効率を算出できる光音響(PA)・発光(PL)同時計測法を提案している。GaN基板上InGaN-QWにPA/PL法を行うとき、基板の発熱を無視するためにチョッパー周波数を高くする必要があるが、PA信号も減少する。本研究は高周波域でS/N比を確保するため、ヘルムホルツ共鳴および空気の加圧によりPA信号を増幅させる手法を提案する。