[16a-B409-1~9] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

△ [16a-B409-7] Dark Current Suppression in Organic Photoconductive Films Using Top Transparent Electrodes

〇Koki Imamura¹, Toshikatsu Sakai¹, Hidenori Yakushiji², Tatsuya Aotake², Yuichi Sadamitsu², Hiroto Sato¹ (1.NHK STRL, 2.Nippon Kayaku)

Keywords:organic photoconductive film, transparent electrode, reactive ion plating

有機光電変換膜は，波長選択性や高い光吸収係数を有する光電変換素子として有用であるが，その優れた特性を最大限利用するためには，上部電極に透明電極を適用し，入射光の利用効率を高める必要がある．これまで，スパッタリング法などにより透明電極を製膜した場合，有機膜がダメージを受け，暗電流が増大することが課題であった．本研究では，反応性イオンプレーティング法を用いて透明電極のダメージレス製膜を検討した．