[16a-B409-1~9] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

△ [16a-B409-7] 上部透明電極を適用した有機光電変換膜の低暗電流化

〇今村 弘毅¹、堺 俊克¹、薬師寺 秀典²、青竹 達也²、貞光 雄一²、佐藤 弘人¹ (1.NHK技研、2.日本化薬)

キーワード：有機光電変換膜、透明電極、反応性イオンプレーティング

有機光電変換膜は，波長選択性や高い光吸収係数を有する光電変換素子として有用であるが，その優れた特性を最大限利用するためには，上部電極に透明電極を適用し，入射光の利用効率を高める必要がある．これまで，スパッタリング法などにより透明電極を製膜した場合，有機膜がダメージを受け，暗電流が増大することが課題であった．本研究では，反応性イオンプレーティング法を用いて透明電極のダメージレス製膜を検討した．