[16a-B410-1~9] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

△ [16a-B410-2] Strain Rate Dependence on the Sample Size Effect in Compression of Electroplated Gold Micro-Pillars

〇(B)Shota Kanno¹, Taro Omura¹, Tomoyuki Kurioka¹, Chun-Yi Chen¹, Parthojit Chakraborty¹, Katsuyuki Machida¹, Hiroyuki Ito¹, Yoshihiro Miyake¹, Masato Sone¹, Tso-Fu Mark Chang¹ (1.Tokyo Tech)

Keywords:MEMS, Gold, Sample size effect

金材料はMEMS加速度センサへの応用が期待されている。その開発に向けて、微小金材料の機械特性評価は重要である。したがって、サンプルサイズ効果とひずみ速度依存性の関係を明らかにする研究を行った。結果として、本研究の試験片サイズではひずみ速度依存性に対するサンプルサイズの影響は小さいことが明らかになった。