[16a-B410-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [16a-B410-8] ハーモニカリード型MEMS発電素子の振動特性

〇(B)志水 駿文¹、神田 健介¹、前中 一介¹ (1.兵庫県大工)

キーワード：エナジーハーベスタ、風入力、圧電MEMS

ハーモニカリード型MEMS振動発電素子では，初期たわみを小さくすると，自励振動が始まる最低風速であるカットイン風速を低減できることが確認されている。一方で，その自励振動メカニズムは完全には明らかではない。本研究では素子の振動特性に着目した実験的評価を行い，初期たわみが振動特性に大きな影響を及ぼす事を明らかにした。また，これらの素子に推奨される風速範囲は素子の初期たわみにより異なることがわかった。