[16a-D405-1~8] 6.6 プローブ顕微鏡

[16a-D405-7] AM距離制御を用いたFM-EFMの有効性の検証

〇福澤 亮太¹、小林 大地¹、高橋 琢二^1,2 (1.東大生研、2.東大ナノ量子機構)

キーワード：原子間力顕微鏡、界面準位

通常の周波数変調型静電引力顕微鏡法 (FM-EFM) では、探針-試料間距離の制御をカンチレバーの共振周波数変化が一定となるようにフェードバックすることで行われているため、静電気力測定と形状測定とを完全には分離できないという問題があった。我々は、発振状態にあるカンチレバーが試料表面に接触した際の振幅変化量を距離制御に用いることで、形状および静電気力測定の正確性が向上することを確認した。