2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

CS コードシェアセッション » 【CS.1】 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 量子ビーム界面構造計測、7.5 イオンビーム一般のコードシェア

[16a-D519-1~14] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 量子ビーム界面構造計測、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

2023年3月16日(木) 09:00 〜 12:45 D519 (11号館)

盛谷 浩右(兵庫県立大)、高廣 克己(京工繊大)

12:15 〜 12:30

[16a-D519-13] O2-GCIBとアセチルアセトンによるSiNx膜原子層エッチングプロセスの反応機構の検討

竹内 雅耶1、藤原 怜輝1、山下 大晴1、豊田 紀章1 (1.兵庫県立大工)

キーワード:ガスクラスターイオンビーム、原子層エッチング、窒化シリコン

本講演では、O2-GCIBとアセチルアセトンを用いたSiNx膜の原子層エッチングの原理実証を行い、SiNx 膜表面に対する反応層形成および反応層除去機構の検討を行う。各ステップにおける表面状態をXPSで評価した結果、本ALEは、O2-GCIB照射によるSiNx膜表面の酸化、その酸化層へのアセチルアセトンの吸着、O2-GCIB照射による反応層の除去を繰り返して進むと考えられる。講演ではこの反応プロセスの詳細について定量的に議論する。