[16a-D519-1~14] CS.1 Code-sharing Session of 2.3 & 7.4 &7.5

△ [16a-D519-4] Au-nanowire growth model by thermal evaporation of Au on a Si substrate irradiated with low-energy Ar ions

〇(DC)Hitomi Mizutani¹, Shunya Yamamoto², Katsumi Takahiro¹ (1.Kyoto Inst. Tech., 2.QST Takasaki)

Keywords:ion beam, nanowire, vapor-phase growth

我々は、低速Arイオンを照射したSi基板へのAuの真空蒸着により、単結晶Auナノワイヤ（NW）を低温成長させる新規NW作製法を見出した。イオン照射領域内のSi酸化／非酸化境界付近にAu NWsが成長し、従来の気相成長法よりも低温で作製できる。本研究では、成長機構解明のため、成長モデルを検討した。NW長さの直径依存性の計算値と実験値との比較により、Au原子の表面拡散による成長モデルの妥当性を示した。