[16a-D519-1~14] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 量子ビーム界面構造計測、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[16a-D519-9] Arクラスターによりスパッタされたベンジルピリジニウム分子の内部エネルギーの評価

徳 泰成¹、〇盛谷 浩右¹、乾 徳夫¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：飛行時間型二次イオン質量分析、ガスクラスターイオンビーム、スパッタリング

Ar-GCIB照射による有機分子脱離のメカニズムを理解するために、本研究ではクラスターサイズを制御したAr-GCIBを２種類の膜厚の異なるベンジルピリジニウム薄膜試料に照射し、SIMS スペクトルを測定した. また、マススペクトル中の分子イオンと解離イオンの強度比から，スパッタされた分子イオンの内部エネルギーを推定した。その結果、試料の硬さが分子解離や脱離に影響していることが示唆された。