[16a-PA06-1~13] 3.7 光計測技術・機器（旧3.8）

[16a-PA06-12] 位相シフト照明式外観欠陥検査における人工構造と欠陥との弁別手法の確立

〇大西 義人¹、瀬尾 欣穂¹、松岡 正興²、芹川 滋³、津金 賢² (1.(株)日立製作所、2.(株)日立ハイテク、3.(株)日立ハイテクソリューションズ)

キーワード：欠陥検査、位相シフト照明法

光学材料における異物・ヒビなどの欠陥強調技術として、位相シフト照明法を適用した検査装置の開発を進めている。本開発の課題は、光学性能・意匠性向上等の目的で人工的に設けた凹凸構造と欠陥とを弁別する手法の確立であった。凹凸構造と欠陥との鋭さの違いに着目し、輝度値がゼロの暗部領域を設けた矩形波状照明を用いることで、エッジが緩やかな凹凸構造の感度を下げ、鋭い欠陥のみを選択的に強調できる弁別手法を確立した。