[16p-A201-1~9] Recent Progress of laser ablation

[16p-A201-2] Nano periodic structure (LIPSS) fabrication on transparent material by laser-induced plasma-assisted ablation (LIPAA)

〇Keita Nakahira¹, Muma Miura¹, Yasutaka Hanada¹, Kotaro Obata², Koji Sugioka² (1.Hirosaki Univ., 2.RIKEN)

Keywords:Laser-Induced Periodic Surface Structure (LIPSS), Laser-Induced Plasma-Assisted Ablation (LIPAA), femtosecond laser

フェムト秒レーザーを用いたレーザー生成プラズマ支援アブレーション(LIPAA)を行い, ガラス基板上へLIPSSの作製を試みた. 銅板-スライドガラス間距離やレーザーパワーなどの実験条件を変化させることにより, LIPSSの周期間隔が制御可能であり, 本発表では, フェムト秒レーザーを用いたLIPAAによるスライドガラス上へのLIPSS作製の詳細について報告する.