[16p-A301-7~12] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[16p-A301-8] 4H-SiC(0001)表面のCO₂雰囲気中熱酸化機構に関する考察

出口 竜大¹、〇細井 卓治¹ (1.関学大工)

キーワード：SiC、熱酸化、SiO2