[16p-A402-1~10] プラズマ駆動型科学とは何か～プラズマプロセスの新展開に期待して～

[16p-A402-4] 【注目講演】機械学習エッチング深さモニタの高精度化に向けた学習アルゴリズムの開発

〇江藤 宗一郎¹、中元 茂²、福地 巧祐² (1.日立製作所、2.日立ハイテク)

キーワード：エッチング、終点判定、機械学習

プラズマエッチングにおける機械学習を用いた終点判定では，エッチング対象ウェハの加工形状が学習データと異なる場合，終点判定の精度が低下する。そのため，ウェハ間の加工形状ばらつきを有する量産工程においては，未学習の加工形状ウェハを学習データに加える学習モデル更新が必要である。本研究では量産工程に対応した学習モデルの更新アルゴリズムを提案し，シミュレーションにより終点判定精度を評価した。