[16p-A403-1~20] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[16p-A403-1] 第14回シリコンテクノロジー分科会論文賞・研究奨励賞授賞式

〇遠藤 和彦^1,2 (1.シリコンテクノロジー分科会幹事長、2.東北大学)

キーワード：シリコンテクノロジー