2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/配線/集積化技術

[16p-A403-1~20] 13.5 デバイス/配線/集積化技術

2023年3月16日(木) 13:00 〜 18:45 A403 (6号館)

遠藤 和彦(東北大)、加藤 公彦(産総研)

13:00 〜 13:15

[16p-A403-1] 第14回シリコンテクノロジー分科会論文賞・研究奨励賞授賞式

遠藤 和彦1,2 (1.シリコンテクノロジー分科会幹事長、2.東北大学)

キーワード:シリコンテクノロジー