[16p-A403-1~20] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[16p-A403-10] TiO_x系ReRAM特性におけるアニール温度の影響

〇(B)池田 翔¹、大沢 遼輝¹、相川 慎也¹ (1.工学院大)

キーワード：ReRAM、アニール、Ti