[16p-A403-1~20] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

△ [16p-A403-17] プラズマ活性化接合におけるSiCN表面の微視的変化に関する解析

〇蛯子 颯大¹、大西 洸輝¹、永野 風矢²、上殿 明良³、井上 史大¹ (1.横国大、2.imec、3.筑波大)

キーワード：ハイブリッド接合、チップレット集積、三次元集積