2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/配線/集積化技術

[16p-A403-1~20] 13.5 デバイス/配線/集積化技術

2023年3月16日(木) 13:00 〜 18:45 A403 (6号館)

遠藤 和彦(東北大)、加藤 公彦(産総研)

17:45 〜 18:00

[16p-A403-17] プラズマ活性化接合におけるSiCN表面の微視的変化に関する解析

蛯子 颯大1、大西 洸輝1、永野 風矢2、上殿 明良3、井上 史大1 (1.横国大、2.imec、3.筑波大)

キーワード:ハイブリッド接合、チップレット集積、三次元集積