PDF ダウンロード スケジュール 35 いいね! 2 コメント (0) 17:45 〜 18:00 △ [16p-A403-17] プラズマ活性化接合におけるSiCN表面の微視的変化に関する解析 〇蛯子 颯大1、大西 洸輝1、永野 風矢2、上殿 明良3、井上 史大1 (1.横国大、2.imec、3.筑波大) キーワード:ハイブリッド接合、チップレット集積、三次元集積