2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[16p-A409-1~17] 6.1 強誘電体薄膜

2023年3月16日(木) 14:00 〜 18:30 A409 (6号館)

神野 伊策(神戸大)、吉村 武(大阪公立大)、安井 伸太郎(東工大)、吉田 慎哉(芝浦工業大)

18:00 〜 18:15

[16p-A409-16] YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜を用いたBAW共振子の特性

〇馮 子泰1,2、李 嵩1,2、賈 軍軍1、柳谷 隆彦1,2,3,4,5 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST、4.JST-FOREST、5.JST-START)

キーワード：YbAlN、YbGaN、エピタキシャル成長