[16p-A409-1~17] 6.1 強誘電体薄膜

△ [16p-A409-17] 30層分極反転共振子による圧電層と基板の音響分離

〇白岩 和剛^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3,4,5 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST、4.JST-FOREST、5.JST-START)

キーワード：分極反転多層膜、ScAlN、圧電薄膜

​HBARは基板に圧電薄膜が堆積された構造で直接基板の上に成膜をするだけで作製できるため工程が容易である。しかし、HBARでは圧電層と基板が音響的に分離できていないため基板と圧電体が複合共振し多重共振を起こすため広帯域フィルタには使えない。本研究では基板と圧電層の音響分離を目的として30層分極反転多層膜と単層圧電薄膜の基板付き共振子（HBAR）を作製しネットワークアナライザを用いて両者を比較した。