[16p-A409-1~17] 6.1 Ferroelectric thin films

[16p-A409-5] Improvement of polarization and piezoelectric properties of one-axis-oriented PZT thin films fabricated on glass substrates

Yusuke Yamasaki¹, Yukie Yokota¹, Hiromi Shima², Yoshiko Nakamura³, Hiroshi Funakubo³, 〇Hiroshi Uchida¹ (1.Sophia Univ., 2.Nat. Def. Acad., 3.Tokyo Tech.)

Keywords:Ferroelectrics, Thin films, PZT

ガラス材料を基板としたPZT薄膜素子は圧電式触覚デバイスや各種の電気光学デバイスなど多方面の電子デバイスへの応用が期待できるが、素子製造にはガラス基板の熱歪み発生を回避するための低温加工技術が必要となる。我々はこれまでに金属酸化物ナノシート(ns-CN)をテンプレート層としたガラス基板上での一軸配向性PZT薄膜の低温成長ならびそれらの分極特性評価に関する成果を報告してきた。本発表では、更に優れた分極および圧電特性を有するPZT薄膜素子を製造するためのプロセス条件の検証結果について報告する。