[16p-A409-1~17] 6.1 強誘電体薄膜

[16p-A409-9] アルキメディアンスパイラル構造のチップ面垂直方向変位の実現のためのPZT 薄膜アクチュエータパターンの研究

〇山本 泰之¹、松本 壮平¹、山本 智子¹、岡本 友貴¹、一木 正聡¹、小林 健¹ (1.産総研)

キーワード：圧電体薄膜、アルキメディアンスパイラル

ＰＺＴ薄膜をアクチュエータとして用いた粘性センサを開発している。粘性計測に最適な振動子形状としてアルキメディアンスパイラルを選択した。スパイラル形状をチップ面に垂直に変位させるためには，ＰＺＴ薄膜アクチュエータを特別な形状にする必要がある。発表では設計と実験結果を報告する。