[16p-B409-1~8] 3.12 Semiconductor optical devices (formerly 3.13)

[16p-B409-6] Fabrication of InP-based Membrane Lasers on Diamond with Transfer Printing

〇(M1)Takumi Sato¹, Yoshiho Maeda², Takuma Aihara², Takuro Fujii², Suguru Yamaoka², Tatsuro Hiraki², Koji Takeda², Toru Segawa², Satoshi Iwamoto³, Yasuhiko Arakawa⁴, Shinji Matsuo², Yasutomo Ota¹ (1.Keio Univ., 2.NTT Device Technology Labs., 3.RCAST, the Univ. of Tokyo, 4.Nanoquine, the Univ. of Tokyo)

Keywords:semiconductor laser, diamond, transfer print

光通信用光源におけるInP系メンブレンレーザーの極限性能追及には排熱特性の向上が重要となる。そこで我々は熱伝導性に優れたダイヤモンド基板上へレーザー構造を形成する技術の開発を行っている。特に自在な異種材料集積が可能な転写プリント法を用いたレーザー作製を進めている。今回、研磨・洗浄による基板の平坦化を行いダイヤモンド基板上へのInP系メンブレンレーザーの転写プリント集積に成功したので報告する。