[16p-D221-1~11] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[16p-D221-9] PLD法で作製したYBCO薄膜の組成変化に対するレーザープルーム像の変化

〇山崎 春太朗¹、長田 智樹¹、一野 祐亮²、吉田 隆¹ (1.名大工、2.愛工大)

キーワード：超伝導

Pulsed Laser Deposition(PLD)法とは、強力なパルスレーザーをターゲットに照射することで構成物質をプラズマ化させ、それを対向する基板上に堆積させることで製膜を行う手法である。このときターゲット上にはプルームと呼ばれるプラズマ発光体が出現し、我々はデジタルカメラでの撮影によってこのプルーム画像を取得することで機械学習のデータとして活用することをを考えた。今回はその基礎検討として、異なる組成比を持ったYBCOタ ーゲットのプルーム像を撮影し解析した結果について報告する。