[16p-D511-1~11] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[16p-D511-9] Ge-on-Insulator(111)構造の作製における
レーザーマーカを用いたエッチングレート向上の効果

〇高松 海夕¹、我妻 勇哉¹、櫻井 優一¹、佐野 汐音¹、澤野 憲太郎¹ (1.都市大)

キーワード：半導体