[16p-E302-1~10] Ultimate Laboratory Automation: Semiconductor Giga Fab as a Giant Robotic Experimenter?

[16p-E302-3] Automated Material Handling System for Semiconductor Fab

〇yoichi motoori¹ (1.Murata Machinery)

Keywords:Automated Material Handling, AMHS

300㎜半導体Fabの自動搬送は2000年から本格化され、その需要と規模は年々急速に拡大しています。弊社では幅広いユーザとのやり取りを通して、マーケットの見通しやニーズを学び、独創的な発想と製品開発で需要に応じた提案を行い、搬送トレンドを牽引して来ました。
今回の講演では、Fab内自動搬送システムのご紹介に加えて、これまでの搬送トレンドの変遷を振返り、今後の課題及びトレンドの見通しについて考えます。