[16p-PA04-1~24] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[16p-PA04-21] 超ワイドバンドギャップ酸化物混晶のバリガ性能指数の評価

〇太田 優一¹、金子 健太郎²、尾沼 猛儀³、藤田 静雄⁴ (1.都産技研、2.立命館大学、3.工学院大学、4.京都大学)

キーワード：酸化物半導体、混晶半導体、超ワイドバンドギャップ半導体