[16p-PA08-1~18] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16p-PA08-16] 反応性スパッタリング法によるV₂O₃エピタキシャル薄膜の作製

〇蓬莱 慎司¹、菅 大介¹、島川 祐一¹ (1.京大化研)

キーワード：反応性スパッタ、エピタキシャル薄膜、機能性酸化物