[16p-PA08-1~18] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16p-PA08-18] スピンスプレー法で作製した銅張積層基板上亜酸化銅薄膜の基板温度依存性

〇(M1)高廣 徹¹、宮﨑 尚¹、北原 功一¹、岡本 庸一¹ (1.防大材料)

キーワード：亜酸化銅、スピンスプレー