[16p-PA09-1~18] 6.4 薄膜新材料

[16p-PA09-10] VO₂の化学気相成長における最適原料-基板間距離の検討

〇後藤 新悟¹、稲田 貢¹、谷 弘詞¹、山本 真人¹ (1.関西大システム理工)

キーワード：二酸化バナジウム、ナノワイヤ、化学気相成長法