2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[16p-PA09-1~18] 6.4 薄膜新材料

2023年3月16日(木) 16:00 〜 18:00 PA09 (ポスター)

16:00 〜 18:00

[16p-PA09-10] VO2の化学気相成長における最適原料-基板間距離の検討

後藤 新悟1、稲田 貢1、谷 弘詞1、山本 真人1 (1.関西大システム理工)

キーワード:二酸化バナジウム、ナノワイヤ、化学気相成長法