[16p-PA09-1~18] 6.4 薄膜新材料

[16p-PA09-7] PET 基板上に室温スパッタ成膜した B ドープ In₂O₃透明導電膜 の酸素分圧最適化

〇森 峻¹、木菱 完太¹、山寺 真理¹、野寺 歩夢¹、渡辺 幸太郎¹、鷹野 一朗¹、相川 慎也¹ (1.工学院大)

キーワード：透明導電膜、フレキシブル、酸化インジウム