[16p-PA09-1~18] 6.4 Thin films and New materials

[16p-PA09-9] Magnetoelastic Effects in Sputtered NiFeMo Thin Films Fabricated on Polyimide Substrates

〇Kosuke Mochizuki¹, Yoshito Ashizawa¹, Katsuji Nakagawa¹ (1.Nihon Univ.)

Keywords:flexible electronics, Magnetoelastic effect, magnetostriction

近年、高感度で柔軟性の高い磁気センサとして、フレキシブル基板上に作製された磁気インピーダンスセンサが注目されている。しかし、センサ素子を曲げると応力がかかり、磁気歪みを通して磁気弾性効果が生じることから、磁界検出感度が不安定になることが報告されている. 本研究では、磁気弾性効果による磁気特性の変化の抑制を目的とし、磁界中熱処理条件と試料に曲げ応力を加えた状態における磁気特性の関係について報告する。