[16p-PA10-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[16p-PA10-1] 圧縮センシングを応用した時間短縮SPMの開発

〇上田 啓市^1,2、Diao Zhuo²、Hou Linfeng²、山下 隼人²、阿部 真之² (1.都産技研、2.大阪大学)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡

走査型プローブ顕微鏡(SPM)の実験において、表面像取得には多くの時間を要することが知られている。本研究では圧縮センシングを応用することによる表面像取得時間を短縮したSPMを実装し、実験により実証した。