[17a-A205-1~9] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [17a-A205-6] 中圧狭ギャッププラズマCVDによる
DLC膜形成に与える水素希釈の影響

〇上野 瑞樹¹、石崎 千貴¹、垣内 弘章¹、大参 宏昌¹ (1.阪大院工)

キーワード：プラズマ、CVD、ダイヤモンドライクカーボン

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は、高硬度、低摩擦性、耐摩耗性等を制御でき、さらには生体適合性にも優れるため、生命科学分野への応用が一層期待されている。CVD法での形成では、高速成膜を狙い、原料ガス分圧を増加させると、膜の非DLC化が顕在化する問題がある。そこで本報告では、DLC膜の高速形成に向け、高い分圧のCH₄ガスを含む雰囲気中で中圧狭ギャッププラズマを生成し、形成される膜の特性に与える水素ガスの影響を調べた。