[17a-A502-1~8] 3.7 Optical measurement, instrumentation, and sensor (formerly 3.8)

△ [17a-A502-4] Optical vortex interferometer using multiple wavelengths(2)

〇(M1)Ayato Takashima¹, Yu Tokizane², Eiji Hase², Takeshi Yasui^1,2 (1.Grad. Sch. Sci. Tech. Innov., Tokushima Univ., 2.pLED, Tokushima Univ.)

Keywords:optical vortex, multiple wavelengths, interference

光渦位相計測は光渦と呼ばれる螺旋状の波面を有する光を用いた位相計測手法である。平面波を用いた位相計測では物体の凹凸が判定できないが、光渦位相計測はらせん状干渉縞の回転方向から形状の凹凸を判定でき物体の高さを定量的に測定可能である。しかし本手法で再現される高さ分布は、光の一波長の高さで位相折り返しを生じるため測定高さ範囲に制限が生じる。本研究では合成波長光渦計測によって測定高さ範囲の拡大を検討した。