[17a-D221-1~10] 11.4 Analog applications and their related technologies

[17a-D221-1] Evaluation of noise reduction by substrate removal for STJ detectors with Membranes

〇Tsuyoshi Noguchi^1,2, Taiga Shibasaki¹, Go Fujii², Shigetomo Shiki², Takahiro Kikuchi², Tohru Taino¹ (1.Saitama Univ., 2.AIST)

Keywords:Superconducting tunnel junction detector, STJ detector, Light element analysis

超伝導トンネル接合(通称：STJ)検出器は通常Si基板上に作製され、検出器厚は数100 nmと非常に薄い。そのため、入射した高エネルギーX線の多くはSi基板に吸収され、フォノンノイズとして大きなノイズ要因となっている。そこで、Si基板を除去した構造を実現させるため、SiO₂/SiN/SiO₂からなる自立メンブレン上に形成されるSTJ検出器の開発を行い、フォノンノイズの低減効果を検証した。