[17a-D505-1~10] 1.6 Ultrasonics

△ [17a-D505-7] Analysis of SAW propagation properties on piezoelectric substrates with periodic voids

〇(M1)Takashi Suzuki¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:surface acoustic wave, grating, bandgap

弾性表面波(SAW)デバイスには高周波化，広帯域化等の高性能化が要求されている．前報において，LiNbO₃(LN)基板内部に周期的な空隙を設けた構造における共振特性を解析し，板波に近い特性を得た．本研究では，LN薄板と水晶接合構造において，周期的な空隙から成るグレーティングを接合境界面に設けた構造のリーキーSAW(LSAW)の伝搬特性を解析した．グレーティング周期によってバンドギャップ周波数を制御できることがわかった．