[17a-D511-1~9] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[17a-D511-6] ナノピラー間隔を変化させたSi-nanopillar/SiGe_0.3複合膜の光ヘテロダイン光熱変位法によるキャリアライフタイム評価

〇原田 知季^1,2、大堀 大介³、遠藤 和彦³、寒川 誠二^4,3、碇 哲雄¹、福山 敦彦¹ (1.宮崎大、2.学振特別研究員DC、3.東北大流体研、4.NYCU)

キーワード：光熱変換法、ナノ構造、キャリアライフタイム

Si-ナノピラー/SiGe複合膜のNPの間隔が熱伝導とキャリア挙動に与える影響を議論するために、NPの間隔を13、27、47 nmと制御した試料を用意した。NPの間隔が狭いほど熱伝導率が小さいことは既に報告したため、今回はキャリアの振る舞いを評価した。光ヘテロダイン光熱変位法の実験と理論計算から、NP間隔が27 nmの複合膜のキャリア寿命が長いことがわかった。