10:45 〜 11:00 [17a-D511-6] ナノピラー間隔を変化させたSi-nanopillar/SiGe0.3複合膜の光ヘテロダイン光熱変位法によるキャリアライフタイム評価 〇原田 知季1,2、大堀 大介3、遠藤 和彦3、寒川 誠二4,3、碇 哲雄1、福山 敦彦1 (1.宮崎大、2.学振特別研究員DC、3.東北大流体研、4.NYCU)