[17a-E502-1~13] 7.1 X線技術

[17a-E502-2] 多層膜回折格子による軟X線ビームスプリッターの検討

〇江島 丈雄^1,2、羽多野 忠^1,2 (1.東北大SRIS、2.東北大多元研)

キーワード：ビームスプリッター、反射多層膜、回折格子

本研究では、軟X線領域で動作する回折格子表面に多層膜を塗布することで全反射による0次光と回折格子による一次回折光の光強度を同程度までに高め、ビームスプリッターとして動作させることを検討した。使用予定の回折格子のパラメーターから求めた一次回折角と多層膜の１周期の長さのマッチングから一次回折光の反射光強度が増大する条件を求めた。当日は、設計の詳細の他、動作確認のために可視用回折格子を用いて動作検証を行った結果についても報告する。