講演情報

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一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.1 X線技術

[17a-E502-1~13] 7.1 X線技術

2023年3月17日(金) 09:00 〜 12:30 E502 (12号館)

豊田光紀(東京工芸大)、米山明男(九州シンクロトロン光研究センター )、石野雅彦(量研機構)

10:15 〜 10:30

[17a-E502-6] レーザープラズマ光源の輝度分布を考慮したEUV照明系照度の精密評価

〇脇俊太郎¹、津久井雄祐¹、陳軍¹、豊田光紀¹ (1.東京工芸大学院工)

キーワード：EUV、EUV顕微鏡