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[17a-PA03-13] 多孔質型感圧層の細孔径と表面形状の関係性解析と圧力センサ応用
キーワード:圧力センサ、プリンテッドエレクトロニクス
フレキシブル圧力センサはウェアラブルデバイスへの応用などが期待されている。特に、多孔質構造を有する当該センサは高い感度を示すことが報告されており、我々は深共晶溶媒を用いて多孔質型高感度圧力センサを開発してきた。しかし、感圧層内の孔径制御と表面形態への影響に関しては未着手のままであった。そこで、細孔径が感圧層の表面形状に及ぼす影響の解析とデバイス特性に与える影響について明らかにしたので報告する。