The 70th JSAP Spring Meeting 2023

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Poster presentation

16 Amorphous and Microcrystalline Materials » 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[17a-PA05-1~7] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

Fri. Mar 17, 2023 9:30 AM - 11:30 AM PA05 (Poster)

9:30 AM - 11:30 AM

[17a-PA05-7] Numerical simulation study for analysis of hydrogenated amorphous silicon/crystalline silicon heterostructure by Reactive Molecular Dynamics Method

〇(M1)Kazuma Inoue1, Naoya Uene2,3, Kazuhiro Gotoh1, Yasuyoshi Kurokawa1, Takashi Tokumasu2, Noritaka Usami1 (1.Graduate School of Eng., Nagoya Univ., 2.Inst. of Fluid Sciences, Tohoku Univ., 3.Graduate School of Eng., Tohoku Univ.)

Keywords:semiconductor, amorphous silicon, Molecular Dynamics method

結晶シリコンヘテロ接合型太陽電池のパッシベーション膜として知られるa-Si:H(i)薄膜は、膜中の水素原子がa-Si:H/c-Si界面の未結合手を終端すると考えられている。しかし、高水素濃度のa-Si:H(i)では、製膜時に結晶化し、それに伴うパッシベーション性能の低下が確認された。本研究では、分子動力学計算を行い、a-Si:H(i)の結晶化と水素濃度がパッシベーション性能に与える影響を調べた。