[17a-PB01-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-PB01-19] コスパッタ材料としてCaOおよびCaF₂を用いたCa添加In₂O₃ TFTの作製と評価

〇(M1)野寺 歩夢¹、森 峻¹、相川 慎也¹ (1.工学院大)

キーワード：薄膜トランジスタ、酸化インジウム、コスパッタ